| ±0.005mm | 2300 | 99.5% |
| 測量精度 | PCS/H | 良品率 |
産品特點：精密XY平台，激光感測器按照相機確定點位置取點；根據5點位置高度計算平面度。
産品功能：檢測主闆的平面度 。
産品參數：
機(jī)台尺寸：750(L)*850(W)*1650(H)mm
操作高度：900mm
測(cè)量精度：±0.005mm
産(chǎn)能（UPH）：2300PCS/H
良品率：99.5%
輸(shū)入電(diàn)壓：AC220V 50/60HZ
額定功率：3KW
設備(bèi)氣(qì)壓：0.6Mpa
